Förderprojekt erfolgreich abgeschlossen

Entwicklung einer neuartigen Debris-Mitigation-Foiltrap und einer kompakten Hochleistungs-Strahlenquelle für das extreme Ultraviolett

 

Development of a new Debris Mitigation Foiltrap and a compact high-performance radiation source for extreme ultraviolet

 

 

Das Projekt wurde im Sommer 2016 erfolgreich abgeschlossen.

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