Entwicklung Unterschalldüse

Gefordert war ein ganzheitlicher Ansatz zur Entwicklung von Unterschalldüsen zum Einsatz in der EUV Lithographie. Dazu mussten Anworten auf die nachfolgend aufgeführten technischen Herausforderungen gegeben werden.

  • Auslegung
  • Konstruktion
  • Fertigung
  • Strömungsuntersuchung
  • Technische Realisierung
  • qualifizierung der Fertigungsverfahren
  • Verwendung hochschmelzender Metalle
  • Reproduzierbarkeit der Mikrokanäle
  • vakuumtaugliche Auslegung

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