Gefordert war ein ganzheitlicher Ansatz zur Entwicklung von Unterschalldüsen zum Einsatz in der EUV Lithographie. Dazu mussten Anworten auf die nachfolgend aufgeführten technischen
Herausforderungen gegeben werden.
- Auslegung
- Konstruktion
- Fertigung
- Strömungsuntersuchung
- Technische Realisierung
- qualifizierung der Fertigungsverfahren
- Verwendung hochschmelzender Metalle
- Reproduzierbarkeit der Mikrokanäle
- vakuumtaugliche Auslegung