Vakuumkammer für EUV Tools.
Leckrate 10-6mbar xl/sec.
Die Kammer wird für Produkte wie EUV-Maske und Maskenrohlingreflektometrie, aktinische Inspektion, aktinische EUV-Mikroskope (Reflexion / Transmission) und aktinische Bestrahlungsgeräte für die Photoresist- und Materialqualifizierung eingesetzt.
Kunde: Research Instruments
http://research-instruments.de/frontend/products-xuv-overview
Vakuumkammer zur Bearbeitung von Bandware.
Trolley mit vakuumdichten Kammerdeckel zur Beschickung der Kammer mit Handlingsystem.
Kammervolumen 3,5m3