Vakuumkammer für Reflektometer

Vakuumkammer für EUV Tools.

Leckrate 10-6mbar xl/sec.

Die Kammer wird für Produkte wie EUV-Maske und Maskenrohlingreflektometrie, aktinische Inspektion, aktinische EUV-Mikroskope (Reflexion / Transmission) und aktinische Bestrahlungsgeräte für die Photoresist- und Materialqualifizierung eingesetzt.

 

Kunde: Research Instruments

 

http://research-instruments.de/frontend/products-xuv-overview

Vakuumkammer mit Trolley

Vakuumkammer zur Bearbeitung von Bandware.

Trolley mit vakuumdichten Kammerdeckel zur Beschickung der Kammer mit Handlingsystem.

Kammervolumen 3,5m3

Vakuumkammer

Vakuumkammer für die EUV Lithographie

Leckrate 10-9mbar xl/sec.

 

Kunde: Xtreme Technologies

Rezipient

Kompakter wassergekühlter Rezipient. Leckrate 10-9mbar xl/sec.

  • Auslegung
  • Konstruktion
  • Fertigung

Kunde: AixUV

 

 

Vakuumkammer

Aufbau einer Vakuumkammer zur Aufnahme von Wechselträgern mit Gesteinsproben.

  • Auslegung
  • Konstruktion
  • Fertigung

Kunde: Institut für Lasertechnik

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